薄膜測厚儀是一種接觸式測厚設(shè)備，多采用高精度傳感器，因?yàn)樗臏y試只和微小位移有關(guān)，所以對試樣沒有選擇性。機(jī)械式測厚儀的測試精度主要取決于位移傳感器的精度，環(huán)境溫度和風(fēng)速會(huì)影響傳感器的精度，因此必須在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境內(nèi)使用。
薄膜測厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過反射率進(jìn)行測量，可進(jìn)行高精度膜厚度、光學(xué)常數(shù)分析?？赏ㄟ^非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。測量時(shí)間上，能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件。
薄膜測厚儀的主要測量方法是機(jī)械接觸，可以嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)要求確保測試的標(biāo)準(zhǔn)化和準(zhǔn)確性。同時(shí)，在使用本儀器進(jìn)行測量時(shí)，也應(yīng)注意不要使本儀器所測量的產(chǎn)品超出量程，否則容易造成測厚精度的問題。測厚儀檢測系統(tǒng)具有支持?jǐn)?shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示、自動(dòng)統(tǒng)計(jì)、打印等功能，使客戶能夠更加方便快捷地獲得檢測結(jié)果，從而有效提高檢測效率。本儀器的系統(tǒng)通常采用微電腦控制，顯示器還配備了液晶，也為大家提供了更加人性化的操作界面。
薄膜測厚儀特點(diǎn)：
1.通過顯微光譜法測量高精度反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）；
2.頭部集成了薄膜厚度測量所需功能；
3.區(qū)域傳感器的安全機(jī)制；
4.顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）；
5.高速測量；
6.測量頭對應(yīng)各種客制化需求；
7.易于分析向?qū)В鯇W(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析；
8.支持各種自定義。
